动态响应好。 由于极板间的静电引力很小,可动部分做得很小很薄,因此其固有频率---,动态响应时间短,能在几兆赫的频率下工作,---适合动态测量,如测量振动、瞬时压力等。 可以实现非接触测量,具有平均效应。 例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,可以减小工作表面粗糙等对测量的影响.
电容式位移传感器尤其适合缓慢变化或微小量的测量,一般来说采用电容式传感器进行检测比较适宜。电容式位移传感器的这些性能必然促使其应用范围越来越广泛。主要用于解决压电微位移、振动台,电子显微镜微调,振动位移测量,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等测量问题。
优点:具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外,还具有信噪比大,灵敏度高,零漂小,位移测量,频响宽,非线性小,精度稳定性好,抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。
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