油膜厚度测量-善测-薄膜厚度测量

随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的mems技术制造。下图显示了一种mems变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，油膜厚度测量设备，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用mems技术得到了这种一体化的结构，油膜厚度测量，它的---性是相当高的。

我们书归正传，接着介绍传感器知识，今天要介绍的是振动传感器。

要了解自动化，油膜厚度测量仪器，当然要先了解机器如何感知。如果连感知都没有，控制更无从说起。

为了使设备达到性能，有---持续监控参数例如速度，温度，压力和振动。

监视设备的状态可以预防设备损坏，就像人要进行体检，要测血压，一样。这些指标是判断一个人是否健康的参数。如果这些指标有问题，得病的概率就---增加。

同理设备也一样，但设备毕竟没有人体那么复杂，在设备性能参数中，判断动态条件的参数就是振动。

所以要让设备变得智能，并且能自我诊断，肯定少不了振动传感器。