善测科技-电容式测微仪-电容测微仪

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    2020-11-15

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随着微机电技术的发展,如今的电容式加速度传感器都普遍采用的mems技术制造。下图显示了一种mems变电容式加速度传感器的结构,它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极,中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心块的形状,电容测微仪哪里有卖,薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外,在薄膜上还有刻蚀出的小孔,当薄膜随块运动时,空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用mems技术得到了这种一体化的结构,电容式测微仪,它的---性是相当高的。


位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测,大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术来测量。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高(目前分辨率可达到纳米级)、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用---等优点,在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。


电容式测量原理特性:采用电容式测量原理,需要洁净和干燥的环境,否则传感器探头和被测物体之间的物质介电常数的变化会影响测量结果。我们也任何时候,都尽量缩短探头到控制器之间的电缆长度。对于标准设备,配备前置放大器,电缆长度设定为1m, (根据不同的模块选择,能到3m)。如果配备外置放大器,探头到控制器之间的电缆长度可以达到20m。

电容位移传感器一般用于需要---的精度的应用环境。他们被用于测量振动,振荡,膨胀,电容测微仪,位移,挠度和形变等等测量任务。因此,电容式位移传感器经常被用作---。

新型的电容位移,分辨率可以达到纳米级别。源于的温度稳定性,在剧烈的温度波动情况下,电容式传感器是理想的选择。








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