随着微机电技术的发展,如今的电容式加速度传感器都普遍采用的mems技术制造。下图显示了一种mems变电容式加速度传感器的结构,它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极,中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心块的形状,电容测微仪哪里有卖,薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外,在薄膜上还有刻蚀出的小孔,当薄膜随块运动时,空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用mems技术得到了这种一体化的结构,电容式测微仪,它的---性是相当高的。
位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测,大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术来测量。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高(目前分辨率可达到纳米级)、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用---等优点,在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。
善测科技(图)-电容式测微仪-电容测微仪由善测(天津)科技有限公司提供。善测(天津)科技有限公司为客户提供“仪器仪表,电子产品,电子元件,五金交电”等业务,公司拥有“善测”等品牌,---于日用五金等行业。欢迎来电垂询,联系人:善测科技。同时本公司还是从事天津传感器,传感器,微波传感器的厂家,欢迎来电咨询。
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