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电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器,具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外,还具有信噪比大,灵敏度高,零漂小,频响宽,非线性小,精度稳定性好,抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所,---院校、工厂和研发部门得到广泛应用,成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。
电容式微位移传感器是将待测位移转换为电容量变化的装置。它实质上是个具有可变参数的电容器。和其他传感器不同,电容式位移传感器输入能量极低,只需要非常小的输入力。由于带电板板之间的静电引力很小,只有几个牛顿,因此电容传感器---适用于解决输入能量极低的测量问题,电容位移传感器,尤其适合于微小的位移测量。
变面积型电容传感器
被测量变化导致动极板移动,引起两极板间有效覆盖面积s的变化,从而得到电容量的变化。当动极板相对于定极板沿着长度方向平移δx时,北京电容位移传感器,其电容变化量化为
式中,c0=ε0εrba/d,为初始电容;a为极板长度;b为极板宽度;δx为极板水平位移。可见δc与δx间成线---。
当动极板有一个角位移θ时,与定极板间有效覆盖面积发生变化,山西电容位移传感器,从而改变了两极板间的电容量。当θ=0时有
式中,εr为介质相对介电常数;d0为两极板间的距离;s0为两极板间初始覆盖面积。
当θ=0时
传感器电容量c与角位移θ间成线---。
电容上的任何压力差导致隔膜在压力的方向上弯曲。传感膜片是精密制造的弹簧元件,其位移是所施加力的可预测函数。在这种情况下施加的力只能是根据标准的方程式f = pa作用在隔膜表面区域上的压差的函数。
在这种情况下,我们有两个由两个流体压力相互作用引起的力,所以我们方程可以重写,以描述作为压差(p1 - p2)和膜片面积函数的合力:f = (p1 - p2)a。由于隔膜面积是恒定的,并且力可预测地与隔膜位移有关,所以可以计算差压是准确地测量隔膜的位移。
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