秦皇岛位移传感器-善测-电容式位移传感器

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    2020-10-30

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随着微机电技术的发展,如今的电容式加速度传感器都普遍采用的mems技术制造。下图显示了一种mems变电容式加速度传感器的结构,它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极,中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心块的形状,薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外,在薄膜上还有刻蚀出的小孔,当薄膜随块运动时,空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用mems技术得到了这种一体化的结构,它的---性是相当高的。


电容式位移传感器的使用方法:

1、要安装传感器,调整初始间隙,进行测量。

2、按下测量键,将传感器借助弹性夹套安装到磁表座上,位移传感器种类,使测量电极板端面接近被测物体的表面,平面或圆柱面,尽可能平行,球面尽可能对中,调整的初始间隙有参考值,调整时有“+”电压输出,反时针转动传感器微调螺母,使测量间隙逐渐增大,输出电压会逐渐接近零点,借助“调零”旋扭细调,使输出准确为0,位移传感器型号,调整时有“—”电压输出,顺时针转动微调螺母,使测量间隙逐渐减小、输出电压会逐渐接近零点,测量即可开始。

3、测量时,被测物体表面接近传感器,秦皇岛位移传感器,测量间隙减小,表示被测尺寸增加,输出为“+”电压,反之输出为“—”电压,仪器输出的“+、—”电压就是相对应量程的静态位移。



温度稳定性好。

传感器的电容值一般与电极材料无关,有利于选择温度系数低的材料, 又因本身---,对稳定性影响甚微。

结构简单,适应性强,待测体是导体或半导体均可,电容式位移传感器,可在---环境中工作。

电容式传感器结构简单,易于制造,可做得非常小巧,以实现某些特殊的测量;能工作在高低温、强辐射及强磁场等---的环境中,也能对带有磁性的工件进行测量。


动态响应好。

由于极板间的静电引力很小,可动部分做得很小很薄,因此其固有频率---,动态响应时间短,能在几兆赫的频率下工作,---适合动态测量,如测量振动、瞬时压力等。

可以实现非接触测量,具有平均效应。

例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,可以减小工作表面粗糙等对测量的影响.








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