随着微机电技术的发展,如今的电容式加速度传感器都普遍采用的mems技术制造。下图显示了一种mems变电容式加速度传感器的结构,它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极,中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心块的形状,薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外,在薄膜上还有刻蚀出的小孔,当薄膜随块运动时,空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用mems技术得到了这种一体化的结构,它的---性是相当高的。
动态响应好。 由于极板间的静电引力很小,可动部分做得很小很薄,因此其固有频率---,动态响应时间短,能在几兆赫的频率下工作,---适合动态测量,如测量振动、瞬时压力等。 可以实现非接触测量,具有平均效应。 例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,可以减小工作表面粗糙等对测量的影响.
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