位移测量-纳米级位移测量-善测(商家)

电容传感器是一种通过简单的机械结构就能实现低功耗、---的动态性能以及非接触式测量等特点的传感器。电容传感器能有效检测到微米级的位移变化，具有非常高的精度，应用前景广泛。目前主要广泛应用于di震灾害监测、航空航天及工业生产中对微小位移、液位、压力、重力等参数的测量。

电容位移传感器，英文名称为capacitive type transducer，是一种将其他量的变换以电容的变化体现出来的仪器。其主要由上下两电极、绝缘体、衬底构成，在压力作用下，薄膜产生一定的形变，上 下级间距离发生变化，导---容变化，但电容并不随极间距离的变化而线性变化，位移测量，其还需测量电路对输出电容进行一定的非线性补偿。

位移测量传感器[2-3]按照测量原理可分为电感式位移传感器、电涡流式位移传感器、超声波位移传感器、电容位移传感器等。其中，电感式传感器和电涡流式传感器在具体实验中虽然具有连续测量、精度较---优点，但都会有系统复杂且制造困难等问题；超声波传感器具有波长短、频率高、方向性好等优点，但是易受---内环境影响，造成测量困难，会产生不小的误差，且超声波传感器由于置于控制棒外壳内部，使得维修不易。相比较而言，电容传感器具有一定的---性，它具有---性高、响应速度快、测量精度---优点，且结构简单，使用方便。因此，本文使用电子六所研制的电容式位移传感器对控制棒数据进行研究。控制棒落棒过程为直线下落运动，落棒时控制棒位移与电容值之间的关系对指示棒位非常重要。本文分别使用三次样条函数、二乘法和bp神经网络算法，对位移测量得到的数据进行曲线拟合分析，确定位移与电容值之间的关系。