电容传感器是将被测量(尺寸、压力等)的变化转换成电容变换量的一种传感器。它本身就是一个可变电容器,有的也与被测物体一起组成可变电容器。 知识点1-电容传感器的工作原理 对于一个平板电容器,它的电容量其中ε0为真空的介电常数;ε为介质相对于真空的介电常数;a为极板的覆盖面积;δ为两极板间的距离。 可见,当电容器中的ε、δ、a发生变化,均会引起电容的变化。基于这个原理,固定住其中两个参数,只改变剩下一个参数,就能达到通过电容量变化观测被测值的目的。只需要配套测量电路,将电容的变化转化为电信号输出,即可得到被测值。根据变化参数的不同,油膜厚度测量仪,电容传感器可分为极距变化型、面积变化型和介---化型三种。 知识点2-极距变化型电容传感器 ---电容器的两个极板间相互覆盖面积和介质不变,那么电容量将与极距呈非线---。电容的变化量:得到传感器的灵敏度 可见极距变化型电容传感器的灵敏度与极距的二次方成反比,极距越小,灵敏度越高,但它们是非线---。为了减小非线性误差,油膜厚度测量,通常测量范围δδ?δ0,一般规定极距变化范围δδ≈0.1。 实际应用中常采用差动型电容传感器以稳定传感器性能,它的结构与差动型可变磁阻式传感器相似,灵敏度是通常结构的二倍。
位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测,大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术来测量。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高(目前分辨率可达到纳米级)、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用---等优点,在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。
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