电容位移传感器工作原理
以电容器为敏感元件，
将机械位移量转换为电容量变化，可进行位移的测量。
平行板电容器的电容与极板面积成正比，与极板间距成反比。
由一个固定极板和一个可移动极板，可以组成变面积式电容传感器。
改变两极板的对应面积，传感器的电容随之变化。
容栅位移传感器是基于变面积工作原理的电容传感器，
其电极的排列如同栅状，相当于多个变面积型电容传感器的并联。
定极板为两组等间隔交叉的极栅，动极板的极距相同且栅宽相同。
动极板相对于定极板移动时，机械位移量转变为电容值的变化，
通过电路转化得到电信号的相应变化量。
物理实验中使用的一种电子数显尺，就是采用多级片型容栅作为传感器，
动尺的多组栅片并联是为了提高测量精度及降低对传感器制造精度的要求。
动极板在移动的过程中，始终与不同的小电极组成差动电容器。
动尺相对于定尺移动时，电容周期变化，
产生的脉冲信号通过电路转化放大及芯片计算得---移值的变化，并显示出来。
电容位移传感器又称为线性传感器，静态间隙测量，是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在生产过程中，位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。按被测变量变换的形式不同，位移传感器可分为模拟式和数字式两种。模拟式又可分为物性型和结构型两种。常用位移传感器以模拟式结构型居多，包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器、自整角机、电容式位移传感器、电涡流式位移传感器、霍尔式位移传感器等。数字式位移传感器的一个重要优点是便于将信号直接送入计算机系统。
电容位移传感器特点 1.旋转轴的径向跳动，轴向窜动和回转精度； 2.往复机构的运动特性和重复定位精度；3.正弦波激振和脉激振中振动测量； 4.机器零部件相对振动相对变形； 5.盘类零件的端面振摆； 6.轴承间隙和油膜厚度； 7.检测零部件尺寸和平直度； 8.线切割机床电极丝的振动； 9.机床主轴热位移与动态加载试验测量；
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