动态响应好。 由于极板间的静电引力很小，可动部分做得很小很薄，因此其固有频率---，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，油膜厚度测量仪，---适合动态测量，如测量振动、瞬时压力等。 可以实现非接触测量，具有平均效应。 例如非接触测量回转轴的振动或偏心、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，油膜厚度测量仪器，可以减小工作表面粗糙等对测量的影响.
电容位移传感器又称为线性传感器，是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在生产过程中，油膜厚度测量，位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。按被测变量变换的形式不同，位移传感器可分为模拟式和数字式两种。模拟式又可分为物性型和结构型两种。常用位移传感器以模拟式结构型居多，包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器、自整角机、电容式位移传感器、电涡流式位移传感器、霍尔式位移传感器等。数字式位移传感器的一个重要优点是便于将信号直接送入计算机系统。
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