电容位移传感器工作原理
以电容器为敏感元件,
将机械位移量转换为电容量变化,可进行位移的测量。
平行板电容器的电容与极板面积成正比,与极板间距成反比。
由一个固定极板和一个可移动极板,可以组成变面积式电容传感器。
改变两极板的对应面积,传感器的电容随之变化。
容栅位移传感器是基于变面积工作原理的电容传感器,
其电极的排列如同栅状,相当于多个变面积型电容传感器的并联。
定极板为两组等间隔交叉的极栅,动极板的极距相同且栅宽相同。
动极板相对于定极板移动时,机械位移量转变为电容值的变化,
通过电路转化得到电信号的相应变化量。
物理实验中使用的一种电子数显尺,就是采用多级片型容栅作为传感器,
动尺的多组栅片并联是为了提高测量精度及降低对传感器制造精度的要求。
动极板在移动的过程中,始终与不同的小电极组成差动电容器。
动尺相对于定尺移动时,电容位移传感器供应商,电容周期变化,
产生的脉冲信号通过电路转化放大及芯片计算得---移值的变化,并显示出来。
电容传感器是将被测量(尺寸、压力等)的变化转换成电容变换量的一种传感器。它本身就是一个可变电容器,有的也与被测物体一起组成可变电容器。 知识点1-电容传感器的工作原理 对于一个平板电容器,它的电容量其中ε0为真空的介电常数;ε为介质相对于真空的介电常数;a为极板的覆盖面积;δ为两极板间的距离。 可见,当电容器中的ε、δ、a发生变化,均会引起电容的变化。基于这个原理,固定住其中两个参数,只改变剩下一个参数,就能达到通过电容量变化观测被测值的目的。只需要配套测量电路,将电容的变化转化为电信号输出,即可得到被测值。根据变化参数的不同,电容传感器可分为极距变化型、面积变化型和介---化型三种。 知识点2-极距变化型电容传感器 ---电容器的两个极板间相互覆盖面积和介质不变,那么电容量将与极距呈非线---。电容的变化量:得到传感器的灵敏度 可见极距变化型电容传感器的灵敏度与极距的二次方成反比,极距越小,灵敏度越高,但它们是非线---。为了减小非线性误差,通常测量范围δδ?δ0,一般规定极距变化范围δδ≈0.1。 实际应用中常采用差动型电容传感器以稳定传感器性能,它的结构与差动型可变磁阻式传感器相似,灵敏度是通常结构的二倍。
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