静力水准仪-善测

变面积型电容传感器

被测量变化导致动极板移动，引起两极板间有效覆盖面积s的变化，从而得到电容量的变化。当动极板相对于定极板沿着长度方向平移δx时，其电容变化量化为

式中，c0=ε0εrba/d，为初始电容；a为极板长度；b为极板宽度；δx为极板水平位移。可见δc与δx间成线---。

当动极板有一个角位移θ时，与定极板间有效覆盖面积发生变化，从而改变了两极板间的电容量。当θ=0时有

式中，εr为介质相对介电常数；d0为两极板间的距离；s0为两极板间初始覆盖面积。

当θ=0时

传感器电容量c与角位移θ间成线---。

电容式加速度传感器又称变电容式加速度传感器，它的结构原理如下图所示，一个块固定在弹性梁的中间，块的上端面是一个活动电极，它与上固定电极组成一个电容器c1；块的下端面也是一个活动电极，它与下固定电极组成另一个电容器c2。

当被测物的振动导致与其固连的传感器基座振动时，块将由于惯性而保持静止，因此上、下固定电极与块之间将会产生相对位移。这使得电容c1、c2的值一个变大、另一个变小，从而形成一个与加速度大小成正比的差动输出信号。