位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测,大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术来测量。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高(目前分辨率可达到纳米级)、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用---等优点,在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。
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