天津电容位移传感器-善测-电容位移传感器

随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的mems技术制造。下图显示了一种mems变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心块的形状，电容位移传感器，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用mems技术得到了这种一体化的结构，它的---性是相当高的。

电容传感器的特点

电容变换器需要将所测的力学量转换成电压或电流后进行放大和处理。 在有些条件下，这些力学量变化相当缓慢，而且变化范围， 测量要有较高的分辨率，其他传感器很难做到高分辨率要求， 而有的电容测微仪分辨率为0.01 μm，天津电容位移传感器， 大量程为100±5 μm，因此一般采用电容式传感器进行检测比较适宜，

这类传感器具有以下 ---优点：

高阻抗、小功率，因而所需的输入力很小，输入能量也很低。

电容式传感器因带电极板间静电引力(约几个10-5n)，因此所需输入能量，所以---适宜用来解决输入能量低的测量问题，例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力非常髙，能感受0.001μm甚至更小的位移。