随着微机电技术的发展,如今的电容式加速度传感器都普遍采用的mems技术制造。下图显示了一种mems变电容式加速度传感器的结构,它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极,中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心块的形状,薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外,在薄膜上还有刻蚀出的小孔,当薄膜随块运动时,空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用mems技术得到了这种一体化的结构,它的---性是相当高的。
广西电容位移传感器-善测-电容位移传感器供应商由善测(天津)科技有限公司提供。善测(天津)科技有限公司(www.smartmens.com)是一家从事“仪器仪表,电子产品,电子元件,五金交电”的公司。自成立以来,我们坚持以“诚信为本,---经营”的方针,勇于参与市场的良性竞争,使“善测”品牌拥有------。我们坚持“服务为先,用户”的原则,使善测在日用五金中赢得了众的客户的---,树立了---的企业形象。 ---说明:本信息的图片和资料仅供参考,欢迎联系我们索取准确的资料,谢谢!同时本公司(www.shancetj.cn)还是从事天津传感器,传感器,微波传感器的厂家,欢迎来电咨询。
联系我们时请一定说明是在100招商网上看到的此信息,谢谢!
本文链接:https://tztz189770.zhaoshang100.com/zhaoshang/206093433.html
关键词: