陕西电容位移传感器-善测科技-电容位移传感器

随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的mems技术制造。下图显示了一种mems变电容式加速度传感器的结构，山东电容位移传感器，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，山西电容位移传感器，当薄膜随块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用mems技术得到了这种一体化的结构，它的---性是相当高的。

电容位移传感器的一个---是测量刹车盘在受力的情况下的形变。为了得到接近真实刹车情况下的测量结果，刹车盘必须在---情况下进行测试。

刹车盘以2，000rpm 的速度旋转，温度--- 600°c。只有具备高测量速度或者截止频率的测量手段，才可以不被由于高温导致的，被测物体磁性和导电性能的变化所影响。 传感器探头还要提供---高的分辨率，因为刹车盘受力引起的形变低于100μm。而提供的电容式位移传感器几乎满足所有该应用的需求，是理想的选择。